本文研究了工艺参数对涂层和基体结合力的影响，以及定量确定主要工艺参数对膜基结合强度的贡献程度，从而得到结合强度最优的TiAlN涂层，以更好满足此类产品的应用要求。
利用弧离子镀技术在SKD61模具钢表面制备TiAlN涂层，SKD61模具钢的成分(质量分数，%)为：0.32～0.42C，0.8～1.2Si，0.50Mn，4.50～5.50Cr，1.00～1.50Mo，0.8～1.2V，0.03S，0.03P，89.7～91.9Fe；基体表面抛光至1μm。模具钢基材被固定在真空腔的中心，在Ti、Al原子比为1∶1的靶工作过程中以10r/min的固定速度旋转。
通过研究工艺参数对涂层表面性能和结合力的影响，得出获得最优性能涂层的工艺参数为：弧流60A，基体温度220℃，预处理基体偏压-450V，沉积基体偏压-800V，工作压强1.3Pa，基体预处理时间15min。优化后的涂层与基体的临界载荷达到56N，比优化前最大临界载荷提高43%。
从TiAlN薄膜的生长特征看，最小膜基结合力的涂层主要表现为(Ti，Al)N相的(111)生长方向，而最大膜基结合力的涂层主要是(Ti，Al)N相的(111)、(200)和(220)的竞争生长。因此，TiAlN薄与模具钢基体结合力的改进主要归功于涂层的高硬度和TiAlN相(111)，(200)和(220)取向的竞争生长。
博一网是深圳市博一建材有限公司运营的一个集建材网站建设、建材SEO优化、建材SEM营销和线上线下互动营销与传播的一个家居建材+互联网+家装的应用场景，详情敬请登陆http://m.bo-yi.com/